Tokyo Electron与NVIDIA扩展在代理式AI与机器人领域的合作
为推进代理式AI（Agentic AI）与机器人技术相关解决方案的研发，TEL正在与NVIDIA开展合作，在TEL数字化转型（DX）解决方案“Epsira™”中引入并应用NVIDIA 智能体工具套件（包括 NVIDIA NeMo、NVIDIA NIM、NVIDIA NemoClaw 在内的软件设计方案），以及开放式机器人开发平台 NVIDIA Isaac。
采用NVIDIA Isaac平台，TEL能够将设计输入到与NVIDIA Omniverse库集成的数字孪生 (Digital Twin）体系中，用于仿真模拟。由于机器人维护往往需要适配多种设备工具，利用数字孪生可显著加快机器人训练速度并提升作业精度。在代理式AI方面，NVIDIA NeMo可帮助TEL加速智能体训练、参数调优与性能评估，而NVIDIA NemoClaw则有助于实现更便捷的操作与更安全的代理运行。
TEL 的 Epsira™ 以提升客户生产力为核心目标：通过基于AI的延长MTBWC（Mean Time Between Wet Cleaning，湿法清洗平均间隔时间）分析、机器人维护与AI故障排查分析等手段，优化现场生产效率、改善良率，同时减少计划内外停机时间，提升设备稼动率。作为数字化基础平台，Epsira™旨在通过数据驱动，助力客户降低操作门槛的同时提升生产效率，从而减少生产波动、提升设备稳定性，并最终迈向设备自主运行。通过这一紧密合作，TEL将持续践行 “通过先进的技术和可靠的服务，为创造富有梦想的社会做贡献”的理念。
TEL企业发展部门副总裁兼总经理松岛圭一表示：“我们很高兴与 AI时代世界领先企业NVIDIA的合作迈向更深层次。通过此次合作，TEL将充分发挥Epsira™ 项目的作用，借助机器人运维与 AI 故障排查分析来提升制造能力，从而进一步提高客户的生产力。”
NVIDIA Senior Director of Robotics and Edge AI Ecosystem Amit Goel表示：“半导体制造正迈入自动化新纪元。在日益复杂的生产环境中，机器人能够帮助晶圆厂提升设备运行时间、实现更高的精度与可靠性。通过 NVIDIA 的代理式AI与物理AI 模型及框架，TEL 将持续推进机器人维护、AI 故障排查以及晶圆厂运营的智能化升级。”
注：Epsira™ 为TEL集团在日本及其他国家的注册商标或商标。
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如需了解更多关于 NVIDIA Isaac1 和 NVIDIA Omniverse2 的信息，请参阅：
[1] https://developer.nvidia.com/isaac
[2] https://www.nvidia.cn/omniverse/
