東京エレクトロンのサーマルプロセスシステム（熱処理成膜装置）は、縦型の酸化・拡散／LPCVD装置で、その信頼性により高い評価を得ております。200mmプロセス対応装置としてはAlpha-8SE、300mmプロセス対応装置としては、省スペース、高性能を追求したAlpha-303iを提供しています。さらに、最新鋭の300mmプロセス対応装置TELFORMULAは、バッチ装置の利点である熱の安定性・低いCoO（コストオブオーナーシップ）と高速熱処理装置の利点である短いサイクルタイムの両立を図った革新的な製品となっています。

<新機械振興賞>

機械工業に関する優秀な研究開発、およびその成果の実用化によって、機械工業技術の進歩・発展に著しく寄与したと認められる企業・大学・研究機関および研究開発担当者を表彰することにより、日本の機械工業の振興に役立てることを目的として、財団法人機械振興協会により創設されたものす。当社は、平成17年12月に、「高性能半導体熱処理成膜装置」で第3回振興協会会長賞を受賞しました。

<もの作り日本大賞受賞>

日本の産業・文化を支えてきた「ものづくり」の承継・発展を目的として、ものづくりを支える人材の意欲を高め、その存在を広く社会に知らせるために経済産業省により創設されたものです。平成17年8月に、当社執行役員の一人を代表とするTELグループ社員10名が、「高品質成膜、高生産性を実現した半導体熱処理成膜装置"TELFORMULA"の開発」で第1回優秀賞を受賞しました。