東京エレクトロン東北では、熱処理成膜装置の開発・製造を行っています。熱処理成膜装置とは、半導体を製造する工程でなくてはならない装置で、ウェーハ上に薄い酸化膜を形成する際に用いられます。当社の熱処理成膜装置は、摂氏400〜1100度の温度域を±1度の精度でコントロールする制御技術に優れており、25〜150枚のウェーハを一括処理できるという特長を持っています。
当社の熱処理成膜装置は、世界でもトップクラスのシェアを獲得しており、今後も革新的な技術でマーケットをリードし続けます。