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縦型炉出荷 1万台

祝 1万台

拝啓、益々ご清栄の段お慶び申し上げます。
また平素はご支援ご指導賜りまして誠にありがとうございます。
さて、弊社SPE-3事業部の主力製品であります縦型熱処理成膜装置が、第一号機出荷以来、山あり谷ありの18年の月日を経て、2006年秋に10,000台の出荷を迎えることとなりました。
これもひとえに日頃からの皆様のご協力の賜物と深く感謝いたします。
今後とも、皆様に信頼され、期待され続けるNO.1装置メーカーであるよう、社員一同、一層の努力をして参る所存です。
倍旧のご支援、ご指導をお願いして、ご挨拶とさせていただきます。

敬具

平成18年11月吉日
代表取締役社長 北山博文

装置の歴史

1971 横型LP-CVD装置 リリース

1972 液相エピタキシャル生成炉VF-100を独自に開発

1974 横型拡散炉ブルートXL リリース

1978 高圧酸化装置 リリース

1981 MOCVD装置 リリース

1982 横型6"拡散炉YOKOHAMA-UX リリース
横型炉用 T-BAWL・6"縦型炉 東北にて生産開始

1992 IW-6 リリース

1994 ALPHA(α)-8S リリース

1995 4号棟(クリーンルーム)完成

1998 ALPHA(α)-8SE リリース

2000 ALPHA(α)-303i リリース

2001 TELFORMULA リリース

2005 TELINDY プレスリリース
新機械振興賞受賞
内閣総理大臣ものづくり大賞 優秀賞受賞

2006 縦型炉出荷 累計10000台達成

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