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（2007年7月1日現在）
| 1968/ |
2 |
米国サームコ社との合弁会社『テル・サームコ株式会社』を設立 |
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| 1985/ |
4 |
江刺市（現奥州市江刺区）に東京エレクトロン株式会社東北事業所 進出 |
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| 1986/ |
7 |
テル東北エレクトロニクス株式会社を設立 |
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| 1987/ |
2 |
テル東北エレクトロニクス株式会社をテル東北株式会社に社名変更 |
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| 1988/ |
2 |
テル・サームコをテル相模株式会社に社名変更 |
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| 1990/ |
1 |
テル相模株式会社を東京エレクトロン相模株式会社に社名変更
テル東北株式会社を東京エレクトロン東北株式会社に社名変更
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| 1993/ |
4 |
東京エレクトロン東北株式会社と東京エレクトロン相模株式会社を合併し、東京エレクトロン東北株式会社となる |
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| 1994/ |
12 |
ISO9001認証取得 |
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| 1998/ |
2 |
ISO14001認証取得 |
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| 2002/ |
4 |
東京エレクトロン東北の相模事業所を東北事業所に集約 |
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| 2004/ |
4 |
東京エレクトロンATと東京エレクトロン東北を合併し、東京エレクトロンAT株式会社となる |
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| 2006/ |
4 |
東京エレクトロンAT株式会社より分社し、新生『東京エレクトロン東北株式会社』発足 |
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| 2007/ |
7 |
「いわて地球環境にやさしい事業所」に認定 |
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