東京エレクトロンFEのサービスについてご紹介しています。装置の性能維持・改良に貢献するため、東京エレクトロンFEでは、装置の立ち上げ・移設・保守・改造、また、パーツの販売などを行なっています。
移設／修理・調整／立ち上げ
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装置の移動や設置、性能回復のための修理・調整（リファービッシュ）、装置の立ち上げ作業を、お客様のご要求にあわせ柔軟なプログラムで提供しています。高い技術力とオリジナルメーカーの強みである総合的なサポート力で、正確で迅速な作業を実現します。装置停止時間を最短にするための代替品提供プログラムも可能です。 |
サービスコントラクト
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請負保全、常駐対応、時間外技術アドバイス、時間外部品配送など、お客様のニーズと予算に応じ柔軟なサービス契約を提供しています。時間外コール対応については、多くのお客様にご契約いただいており、時間外の装置稼動に貢献しています。 |
改造
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信頼性向上、スループット改善、歩留まり改善、環境対応など多くの商品をご用意しており、様々なご要望に対応することができます。また、標準改造についてはTELCustomer.com※の「サポート」に情報を掲載しています。
- ※TELCustomer.comの閲覧には登録が必要です。
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限定仕様装置
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仕様を限定しスリム化したエッチング装置を低価格・短納期にて提供します。Low/Mid Endデバイスをターゲットにしており、個別の特殊改造は行わない代わりにコストダウンを実現した装置です。 |
スペアパーツ
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TEL純正スペアパーツを提供しています。装置本来の性能を発揮するためには、TELが品質を保証している純正パーツのご使用をお勧めしています。
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トレーニングプログラム
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お客様のニーズに合った基礎技術や装置トレーニングのプログラムを提供しています。TELグループのトレーニングセンターだけでなく、webにて提供可能なプログラムもご用意しています。
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