東京エレクトロンFEには以下の2つの部門があります。フィールドエンジニア部門は、装置の立ち上げ、保守、改造などの技術サポートを行っています。管理間接部門においては、パーツ販売、安全管理、経理、人事などの業務を行っています。

• クリーントラックFE部
• サーフェスプレパレーションシステムFE部
• エッチングシステムFE部
• 枚葉成膜FE部
• サーマルプロセスシステムFE部
• テストシステムFE部
• FPDシステムFE部
• AIM FE部

• 国内パーツセールス部
• 教育センター
• 安全推進部
• FE統括センター
• 経理業務管理部
• 人事総務部