‘60
The Site of TEL's birth: The TBS Akasaka Office
| 1963/11 | 東京放送（TBS）出資500萬日圓，在日本港區赤坂設立關係企業－TEL研究所，開始VTR、汽車音響等出口與電子設備進口之業務。 |
|---|---|
| 1968/02 | 與美國Thermco合併，成立TEL-Thermco Co., Ltd |
‘70
High-pressure oxidation system
| 1970/08 | 設立MEC Engineering Inc. |
|---|---|
| 1975/10 | TEL Engineering Inc.與MEC Engineering Inc.合併，成為TEL MEC Inc. |
| 1977/11 | 併購Pan Electron Inc. |
| 1978/10 | 由TEL研究所更名為TEL Electron Limited |
‘80
TEL is listed on second section of the Tokyo Stock Exchange
| 1980/06 | 東京證券交易市場第二部掛牌上市 |
|---|---|
| 1983/07 | 設立TEL-Lam Ltd. |
| 1984/02 | 併購TEL MEC Inc. |
| 03 | 東京證券交易市場第一部掛牌上市 |
| 1986/07 | 設立TEL Tohoku Electronics Limited |
‘90
In-circuit board tester
| 1990/08 | 設立Tokyo Electron FE Limited |
|---|---|
| 1996/01 | 設立Tokyo Electron Taiwan Limited |
| 1997/04 | 設立Tokyo Electron Miyagi Limited |
| 1998/02 | 山梨穗坂地區300mm晶圓製程中心完工 |
| 07 | 設立中國．上海駐在員事務所 |
| 1999/10 | 東京證券交易所第一部營業類別由「商業」變更為「電子業」 |
‘00
| 2000/08 | 投資單位由1000股變更為100股 |
|---|---|
| 2001/04 | Tokyo Electron Yamanashi Limited與Tokyo Electron Miyagi Limited合併為Tokyo Electron AT Limited 設立東電電子（上海） |
| 2004/04 | Tokyo Electron AT Limited與Tokyo Electron Tohoku Limited合併為Tokyo Electron AT Limited |
| 05 | 控股公司Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc. |
| 07 | Tokyo FE Limited與Tokyo EE Limited合併為Tokyo FE Limited |
| 2005/01 | 獲頒東京證券交易所「第10屆資訊公開」獎 |
| 2006/02 | 設立Tokyo Electron Korea Solution Ltd. |
| 04 | Tokyo Electron AT Ltd.分割為Tokyo Electron AT Limited, Tokyo Electron Tohoku Limited, Tokyo Electron TS Limited |
| 06 | 設立TEL Venture Capital, Inc. |
| 2008/02 | 設立Tokyo Electron PV（株） |
| 06 | 設立Tokyo Electron India Private Ltd. |
‘10
Tokyo Electron Miyagi Ltd.
| 2010/07 | 設立Tokyo Electron Miyagi Limited |
|---|---|
| 2010/12 | Tokyo Electron Device Limited東京證劵交易所第一部掛牌上市 |
| 2011/01 | 設立Tokyo Electron (Kunshan) Limited |
| 2011/04 | Tokyo Electron AT Limited更名為Tokyo Electron Yamanashi Limited |
| 04 | Tokyo Electron FE Limited與Tokyo Electron PS Limited合併為Tokyo Electron FE Limited |
| 2012/04 | 設立Tokyo Electron Singapore PTE Ltd. |
| 04 | Tokyo Electron Korea Ltd.與Tokyo Electron Korea Solution Ltd.合併為Tokyo Electron Korea Ltd. |
| 05 | 收購美國NEXX Systems公司並設立 TEL NEXX, Inc. |
