半導体産業は、激しい市場競争の中で技術革新が進んでいます。ICの高集積化に伴い、超微細化への対応が求められる半導体製造装置。また一方では、より高度な半導体のプロセス技術、製造技術を開発し、プロセスインテグレーション（一環プロセス）として提供することが装置メーカーに求められています。加えて、アドバンストプロセスコントロール（APC）＝最先端プロセス制御技術の開発が、更に高い付加価値を与えることになります。東京エレクトロンでは、これに先駆け、1998年穂坂事業所内に、300mmウェーハおよび1Gbitプロセス環境に対応した業界最先端のプロセス・インテグレーション・センターを建設、以来、プロセス・インテグレーション、クリーンテクノロジーなどの強化に努めてきました。
現在東京エレクトロンATは以下の3つのビジネスを展開しています。

・プラズマエッチング装置
・枚葉CVD装置
・FPDプラズマエッチング／アッシング装置