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（2007年7月1日現在）
| 1970/ |
8 |
株式会社メックエンジニアリング設立。 |
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| 1975/ |
10 |
メックエンジニアリングは株式会社テル・エンジニアリングと合併、株式会社テルメック（東京エレクトロン山梨株式会社の前身）に社名変更。 |
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| 1983/ |
7 |
東京エレクトロン株式会社と米国ラム・リサーチ社の合弁により、テル・ラム株式会社を設立。 |
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| 1984/ |
2 |
東京エレクトロンが株式会社テルメックを吸収合併。 |
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| 1986/ |
12 |
米国ラム・リサーチ社との合併を解消。 |
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| 1987/ |
1 |
テル・ラム株式会社をテル山梨株式会社に社名変更。 |
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| 1987/ |
2 |
東京エレクトロン株式会社の韮崎地区製造部門をテル山梨株式会社に移管。 |
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| 1990/ |
1 |
テル山梨株式会社を東京エレクトロン山梨株式会社に社名変更。 |
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| 1996/ |
8 |
米国子会社東京エレクトロン マサチューセッツを設立。 |
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| 1996/ |
12 |
米国子会社東京エレクトロン フェニックス ラボラトリーズを設立。 |
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| 1997/ |
4 |
東京エレクトロン宮城株式会社を設立。 |
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| 2001/ |
4 |
東京エレクトロン山梨株式会社と東京エレクトロン宮城株式会社が合併、東京エレクトロンAT株式会社に社名変更。 |
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| 2003/ |
5 |
東京エレクトロン株式会社の穂坂・関西地区開発部門を東京エレクトロンAT株式会社に移管。 |
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| 2004/ |
4 |
東京エレクトロンATと東京エレクトロン東北合併。 |
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| 2006/ |
4 |
東京エレクトロンAT、東京エレクトロン東北、東京エレクトロンTSの3社に分社。 |
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| 2007/ |
4 |
東京エレクトロンAT 宮城事業所仙台地区開設。 |
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