Repair factory 업무

업무

Clean Track
  • MK-ll, 5, 7, 8 BOARD 류
  • SPIN MOTOR & DRIVER
  • CIRCULATOR
  • COOLING PLATE
  • PLASMA DISPLAY
  • TEMP CONTROLLER
  • MAPPING SENSOR
Thermal Processing Systems
(DIFFUSION/FURNACE)
  • TS30000Z I/O BOARD
  • HCT
  • CIRCULATOR
  • TS4000Z CONTROLLER
  • M120, M121 CONTROLLER
  • WAFER COUNTER
  • MDIF BOARD
Etch Systems
  • TE8500 BOARD 류
  • MOTOR DRIVER
  • PC-71, PC-72
  • POWER SUPPLY
  • M120, M121 CONTROLLER
  • WAFER COUNTER
  • EPD CONTROLLER
  • Tokyo Electron Korea Repair factory에서는 각종 Controller, Board 별로 Test Jig를 확보하여 모든 수리품에 대해 철저한 입출력 Test를 실시하므로 수리품에 대한 신뢰도가 높습니다.
  • TEL장비의 고장에 대하여 국내 수리가 가능 하므로 수리비의 절감은 물론 신속한고장대응이 가능합니다.

업무진행순서

Services

  • Field Solutions
  • Repair factory
  • Repair factory 업무