Tokyo Electron Korea RS(Repair Shop)은 국내 반도체 제조업체에 보급되어 사용 중에 있는 TEL 장비 에서 발생하는 Fail난 Assembly를 수리하여 TEL 장비의 가동율을 향상시키며, 궁극적으로 고객만족을 실현하는 부서입니다.

Tokyo Electron Korea RS에서는 모든 장비의 Board, Controller 수리를 위한 Jig를 확보하여 완벽한 입/출력 test를 실시하므로 수리업무의 신뢰성이 높고, 이를 이용한 철저한 출고검사를 통하여 TEL 공장 출하 신품과 같은 조건으로 고객에 납품하고 있습니다.

부서	장비
Coater/Developer	Mark V/VZ, Mark 2/7/8, ACT12 CLEAN TRACK ACT® 8
Thermal Processing System	ALPHA-8, IW-6,FTPS, VDF/VCF FORMULA, ALPHA Series
Etch Systems	UNITY® II, ES-5000, ES-8500 TELIUS
Test Systems	P-8, P-8XL, 78S, 80S P-12 Series
Cleaning Systems	UW station, SCR, PR, TEL-WET
FPD	HT-800, CS-800
Single Wafer Deposition System	MB2-730, UNITY, TRIAS

* 담당자 :

최성환 부장 ( E-Mail : sunghwan.choi@tel.com ) 탁완기 ( E-Mail : wk.tak@tel.com ) 김창헌 ( E-mail : ch.kim@tel.com )

* 연락처 : (031) 831-7672~4

* Fax : (031) 831-7676

* 위치 : 경기도 화성시 동탄면 석우리 710-1번지