| Clean Track |
- MK-ll, 5, 7, 8 BOARD 류
- SPIN MOTOR & DRIVER
- CIRCULATOR
- COOLING PLATE
- PLASMA DISPLAY
- TEMP CONTROLLER
- MAPPING SENSOR
|
Thermal Processing Systems
(DIFFUSION/FURNACE) |
- TS30000Z I/O BOARD
- HCT
- CIRCULATOR
- TS4000Z CONTROLLER
- M120, M121 CONTROLLER
- WAFER COUNTER
- MDIF BOARD
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| Etch Systems |
- TE8500 BOARD 류
- MOTOR DRIVER
- PC-71, PC-72
- POWER SUPPLY
- M120, M121 CONTROLLER
- WAFER COUNTER
- EPD CONTROLLER
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- Tokyo Electron Korea Repair Shop에서는 각종 Controller, Board 별로 Test Jig를 확
보하여 모든 수리품에 대해 철저한 입출력 Test를 실시하므로 수리품에 대한 신뢰
도가 높습니다.
- TEL장비의 고장에 대하여 국내 수리가 가능 하므로 수리비의 절감은 물론 신속한
고장대응이 가능합니다.
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