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웨이퍼 위에 레지스트를 도포하거나, 노광 후에 현상하는 장치입니다. |
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웨이퍼 위에 형성된 패턴에 맞춰, 막을 깎아내는 장치입니다. |
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웨이퍼를 약액 등에 담궈서 세정하는 장치입니다. |
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웨이퍼 위에 화학적으로 여러 종류의 막을 형성하는 장치입니다. |
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웨이퍼 위에 바르게 회로가 형성된 것을 테스트 하는 장치입니다. |
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반도체 생산에 있어서 여러가지 검사장치를 수입･판매하고 있습니다. |
