UNITY EP는,High Step Coverage,새로운Capacitor 재료 채용이라는 새로운 Device Need에 대응한 Single Wafer CVD장비입니다. 더욱이 양산실적이 있는 UNITY CVD Process를 계승하고 Maintenance와 Space효율을 개선하여 생산성 향상을 실현하고 있습니다. 주요 특징은 Trap 및 Controller계의 소형화에 의해 Foot Print삭감, 새로운 Concept을 기초로한 Heater온도 Control에 의한 Process안정화 향상입니다.
Dry Cleaning에 관해서는 ,MB2-730, UNITY CVD장비에서 호평을 받은 Plasma Less Cleaning을 계속하여 채용하여 , 낮은Particle 과 Maintenance Cycle연장을 얻을 수 있습니다.

• Wafer Size : 6 Inch - 8 Inch
• Process Module : 1-4 Chamber
• Wafer 냉각 Module : 1-2 개
• 대응 Process : Precleaning,Ti,TiN
• Plasma Less Cleaning

• ※UNITY는, 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.