Trias SPA는 SPA ( Slot Plane Antenna)을 이용하여 저전자 온도 . 고Plasma 밀도를 양립시킨 새로운 Damage Free Plasma 처리 Nitridation 장비입니다. FTPS/WVG에 의한 Base 산화막 형성과 조합에 의해 저온에서 0.1 - 0.07㎛세대의 Gate 절연막 Nitridation Process를 실현 시켰습니다.

• Wafer Size :200mm . 300mm 대응
• Process Module : 1-4 Chamber
• 산화 . 각종 막질의 개선등에 폭 넓게 Application 대응

• ※Trias는, 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.
• ※FOUP Opener는,Brooks Automation, Inc.의 License를 근거로해서 동경엘렉트론 주식회사가 제조하고 있습니다.