Trias
Trias는 200mm 장비에서 실적이 있는 MB2-730 , Unity EP Concept를 합쳐, 더욱 높은 고성능의 Process Performance 와 높은 생산성을 실현한 300mm 대응 CVD 장비입니다.새로운 기능으로서 PCOT (Precise Control of Temperature) 기술을 Module에 채용하고 있어 최첨단 Device Need에 대응한 막질을 실현하고 있습니다. Dry Cleaning는 Chamber Damage가 없는 Plasma less Cleaning을 이용하여 안정적인 가동을 도모 하고 있습니다.
- Wafer Size :300mm 대응
- Process Module : 1-4 Chamber
- 대응 Process : Blanket W, DCS Wsi , Ti , TiN, Ta2O5
- Plasma less Cleaning
- ※Trias는, 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.
- ※FOUP Opener는,Brooks Automation, Inc.의 License를 근거로해서 동경엘렉트론 주식회사가 제조하고 있습니다.
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