5세대 장비「SE-1200/1300」의 Single chamber concept로 부터 반송Unit를 최소한으로 하여 Space의 최소화를 실현 하였습니다.（당사 비 ：25%삭감）또 Simple한 구성이기 때문에 Trouble의 발생 요인을 최소한으로 억제 하여 Down time의 저감을 실현 하였습니다.

• 대응 기판 Size：Successio＜표준＞1500×1800mm
• Chamber Mode：PE/RIE Mode 에서 선택 가능
• P/C개폐 기구：Slide & 회전 방식 (당사 Original)
• 제 5세대까지의 Process 성능과 동등한 성능을 실현.

• ※Successio는 동경 엘렉트론 주식회사의 상표입니다.