SE Series은 제 5세대 대형기판 양산LINE의 요구에 대응하기 위해 개발된 최신예 매엽식 Plasma Etch/Ash System장비입니다. 높은 가동율을 실현하여 많은 납입실적을 자랑하는 ME/HT시리즈에서 익힌 노하우를 계승하여, 제 4세대와 동등한 높은 Etching Rate, Etching 균일성을 실현하고 있습니다.
또 독자적인 반송계의 채용과 각부의 최적화에 의해 기판대형화로 염려되었던 Throughput의 저하를 방 지하고, 종래기 상당의 고속반송을 실현했습니다. 게다가 Single Chamber채용으로서 Foot Print의 절 감을 가능하게 하였습니다.

• 양산공장에서의 AGV/CIM 대응 (Option)
• 실리콘막에서 메탈막까지의 폭넓은 Application
• Chamber Mode는 PE/RIE/ICP를 자유롭게 조합 가능
• 3 System까지 접속 가능한 대기 반송계 (Option)
• 대응기판 사이즈 :
  • SE-1200 <표준> 1000mm X 1200mm
  • SE-1300 <표준> 1100mm X 1250mm