최대 3실의 Process Chamber 설치가 가능한 ME시리즈는 동경엘렉트론이 독자적으로 개발한 진공 Main Arm이 추가되어, 독특한 반송시스템을 채용한 것으로 High Throughput를 실현했습니다.
ME Series는 국내외에서 많은 TFT-LCD PANEL MAKER에 채용되어 호평을 받고 있습니다.

• 양산공장에서의 AGV/CIM 대응(Option)
• 실리콘막에서 메탈막까지 폭넓은 Application
• Chamber Mode는 PE/RIE/ICP를 자유롭게 조화가능
• 대응기판 사이즈
  • ME-500 <표준> 400mm X 500mm
  • ME-600 <표준> 550mm X 650mm
  • ME-700 <표준> 600mm X 720mm