FPD Etch/Ash Systems
Ç÷§ÆÇ³Úµð½ºÇ÷¹ÀÌ(FPD)´Â, Á¡Á¡ ±× Ȱ¿ëµÇ´Â ¹üÀ§°¡ È®´ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇâÈÄ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÇ´Â »ê¾÷ÀÔ´Ï´Ù. µ¿°æ ¿¤·ºÆ®·Ð¿¡¼´Â, ÀÌ Ç÷¿ÆÇ³Úµð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼µµ °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÃÖ÷´Ü FPDÁ¦Á¶ÀåÄ¡¸¦ ¼Æ÷Æ®¿Í ÇÔ²² Á¦°øÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
Group ȸ»çÀÎ µ¿°æ ¿¤·ºÆ®·Ð AT¿¡¼´Â Etching/AshingÀåÄ¡, ¶ÇÇÑ µ¿°æ ¿¤·ºÆ®·Ð Å¥½´¿¡¼´Â Coater/DeveloperÀåÄ¡, ÀÌ»ó 2Á¾·ùÀÇ FPDÁ¦Á¶ÀåÄ¡ÀÇ °³¹ß, Á¦Á¶¸¦ ÇàÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
|

|
|
|
Back to top
|