Impressio는, Flat Panel Display(FPD）제조 공정에 있어서 제 7세대 기판 대응의 FPD Plasma Etching/ Ashing장비로, Process chamber내의 Plasma 밀도 균일화와 Etching의 고 효율화가 가능하도록 설계 개발 되어 있습니다.
대 유량 Process Gas의 공급 System을 장착한다면, 동시에 대유량 배기가 가능하도록 하나의 Chamber에 대하여 6기의 Turbo Pump를 표준 탑재하고 있습니다.

• 제 5,제6세대의 장비와 동등한 Through-put을 실현.
• 반송계는, 2를 넘는 Glass기판의 처짐을 최소화 하도록 기판의 Support위치를 Simulation하여 최적화.
• 6기의 Turbo-Pump를 표준 탑재.
• Plasma 밀도의 균일화.

• ※Impressio는 동경 엘렉트론 주식회사의 일본, 한국, 대만에 있어서의 상표입니다.