200mm Wafer생산Line에서 130nm이후 세대의 뛰어난 Cost Performance를 실현하는 Etching장치입니다. UNITY에는 IIe, Me의 Version이 있고, 뛰어난 생산성과 높은 신뢰성을 달성하고 있습니다.
UNITY는 각종 Chamber Application을 탑재하는 것으로서 Contact, Dual Damascene, Low-K절연막, Poly Gate, Shallow Trench등 폭 넓은 Process영역에 대응되며 업계 Top Level의 고생산성을 실현하고 있습니다.

• PE(IIe), IEM(IIe), DRM, SCCM Plasma Source의 탑재가능
• 최대 4Chamber 대응가능(Me)
• 고Through-Put, Compact Design, 저CoO달성
• 뛰어난 Maintenance성
• Flow Control System의 탑재가능(Me)
• UNITY는 84, 85, 88 Model이 있습니다.

• *UNITY는, 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.
• *SCCM은, 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.