Telius는 대형화(300mm) 요구에 대응해서 높은 Cost Performance를 실현한 최신형 Etching장치입니다. 보다 나은 생산성향상을 목적으로 한 SP Version은 Telius의 Platform Concept에서 Through Put향상, Foot-Print저감, 에너지 절약을 실현하고 있습니다.
Telius는 각종 Chamber Application을 탑재하는 것으로서 Contact, Dual Damascene, Low-K절연막, Poly Gate, Shallow Trench등 폭 넓은 Process영역에 대응되며 업계 Top Level의 고생산성을 실현하고 있습니다.

• DRM, SCCM® Plasma Source의 탑재가능
• 최대 4Chamber 대응가능(사진은 2Chamber System)
• 자유도가 높은 System확장성
• 200mm장치와 동일 Clean Room전유면적의 달성
• 고Through-Put, Compact Design, 저CoO달성
• 뛰어난 Maintenance성
• Telius는 304, 305, 308 Model이 있습니다.

• ※Telius는, 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.
• ※SCCM은, 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.