CLEAN TRACK ACT12는 300mm Wafer Process대응기종입니다.
본 장치는 INLINE 시, 기존200mm장치와 비교해서 동등할 정도로 Foot Print 절감, 반송속도의 고속화에 의한 고Troughput화를 실현. 그리고 장비구성의 최적화, 각 구성부재의 신뢰성을 높임과 동시에 Maintenance부로의 Access 및 Parts탈착용의화를 꾀하여 Up time의 향상을 이루었습니다. 이에 따라 고도의 생산성을 실현하고 있습니다.
한편 미세화에 맞춰 Chemical Filter에 의한 분위기중의 염기성물질의 농도관리,고정밀도Oven에 의한 PEB온도관리등의 기능을 실현해 고도의 미세화 DUV Process를 추구하고있습니다.
EHS(Environment,Health,Safety)로의 전개와 약액소비량저감(성 Resist기술),공장 Utility사용량저감등에 공헌하고 있습니다.

• High Throughput 대응
• Small Foot Print
• Up time향상
• Deep UV Process대응
• 300mm공장자동화대응

• ※CLEAN TRACK 및 CLEAN TRACK ACT는 동경엘렉트론 주식회사의 상표입니다.