CS Series는 LCD 대형기판양산Line의 요구에 대해서, 높은 Cost Process Performance를 실현한 최신예 Coater/Developer입니다. 수많은 납입실적을 가진 CS시리즈는 기판 사이즈에 따라 각각 CS500, CS600, CS800,CS1000을 Line-Up하고 있습니다. AGV/CIM 대응과 주변장비(각종 노광기, Titler 장비 등)와의 In-Line의 실현에 의해 LCD생산라인의 새로운 자동화에 큰 공헌을 했습니다. 또한, 소량의 Resist 막 도포와 현상액 Recycle System의 대응에 의해 양산Line에서의 Running Cost 절감을 실현했습니다.

• 공통반송Robot 채용에 의해 SPACE의 최소화(종래의 Track Type 대비 20% ~ 30% 삭감)
• 높은 Process 성능과 High Throughput
• Flexible한 장치 Lay Out
• 높은 장비 신뢰성
• 대응기판 Size
  • CS500 <표준> 400mm x 500mm
  • CS600 <표준> 550mm x 650mm
  • CS800S <표준> 600mm x 720mm
  • CS800L <표준> 680mm x 880mm
  • CS1000S <표준> 730mm x 920mm