常に変化する半導体装置産業のビジネス環境において、東京エレクトロンは、当社装置の高稼働率をお約束するサービス・サポートを提供いたします。専門の知識・経験を持つサービスエンジニアが迅速に対応し、お客様の問題点を解決いたします。
東京エレクトロングループのサービス・サポート体制をご紹介しています。
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改造サービスについてご紹介しています。
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中古装置のサービス・サポート及び在庫、買取情報についてご紹介しています。
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ＴＥＬ純正パーツは当社装置の最適な性能を保証します。また、低CoC/CoOのための改造も行っています。
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テクニカルトレーニングをご紹介しています。
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