東京エレクトロンの提供するテストシステムは、世界市場で高いシェアを獲得しており、更に高集積・高機能化する半導体デバイスの電気的検査に対応するウェーハプローバが主製品です。

半導体半導体製造装置による様々なプロセスを経たウェーハ上にはICが数百個のICが作られています。ウェーハプローバはテスターに接続されており、ウェーハ上のICの電極に対して針をあて、電気的検査を可能にする装置です。ICチップの使用環境に近い環境で耐久性の試験を行なうために過熱・冷却する機能を備えています。