TEL ATP（Adaptive Thermal Processor）シリーズは、Alpha-8SEシリーズの後継機種として次世代プロセスの大幅な性能向上と高生産性が実現されています。特に温度制御に関しては、ウェーハ温度を制御対象としたリアルタイムの非線型・適応アルゴリズムが採用され、さらに反応モデルによるレシピの最適化が可能となり、工程能力指数の飛躍的向上を実現しました。

• 新温度制御技術ART Control（Adaptive Realtime TemperatureControl）搭載
• プロセス最適化ツールProcess Optimizer搭載可能
• 実プロセス時間短縮
• 可変枚数処理VLSP（Variable Load Sige Process）の実現
• 工程能力指数改善

• ※TEL ATPおよびART Controlは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。