Alpha-303iは、優れた性能と高い生産性を有する熱処理成膜装置です。省スペース化、低コスト、高生産性並びに高プロセス性能を徹底的に追及し、さらにスタンダード化（GJG/SEMI Standard）に100％準拠した世界最小で最も信頼性の高い量産用装置です。

• 業界最小のフットプリント（装置幅1100mm）実現
• 新温度制御技術ART Control
  （Adaptive Realtime Temperature Control）搭載
• GJG/SEMI Standard準拠

• ※ART Controlは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です