HOME > 製品情報 > 半導体製造装置

半導体製造装置

東京エレクトロンでは、熱処理成膜装置、コータ/デベロッパ、プラズマエッチング装置、サーフェス プレパレーション装置、枚葉CVD装置、ウェーハプローバなどの半導体製造装置に関する研究・開発、製造、セールス、フィールドサポートをグローバルに展開し、これら製品の多くがグローバルマーケットでトップシェアを獲得しています。また、半導体製造装置メーカーとしての豊かなノウハウを応用したFPD製造装置など、新たな分野にも進出しています。さらに、東京エレクトロンでは、多様なニーズにお応えするため、自社開発製品の他に、優れた製品を提供しており、輸入機器部では、最先端の半導体製造装置を海外から輸入・サポートしています。

サーマルプロセスシステム

サーマルプロセスシステム

ウェーハ上に酸化膜や窒化膜を形成する装置です。

コータ/デベロッパ

コータ/デベロッパ

ウェーハ上にレジストを塗布したり、露光後に現像する装置です。

エッチングシステム

エッチングシステム

ウェーハ上に形成されたパターンに従って、膜を削り取る装置です。

SPS(洗浄装置)

SPS(洗浄装置)

ウェーハを薬液などに浸して、洗浄する装置です。

枚葉成膜

枚葉成膜

ウェーハ上に化学的にさまざまな種類の膜を形成する装置です。

テストシステム

テストシステム

ウェーハ上に正しく回路が形成されたことをテストする装置です。

ガスクラスターイオンビーム装置

ガスクラスターイオンビーム装置

革新的なドーピング・成膜技術と
トリミング技術を提供

光学式測定システム

光学式測定システム

ウェーハ上に形成された膜などの形状を光学的に測定する装置です。

NPP(輸入機器)

NPP(輸入機器)

半導体生産における様々な検査装置を輸入・販売しています。

 
このページの最上部に戻る