東京エレクトロンでは、半導体製造装置メーカーとしての豊かなノウハウを応用したFPD製造装置など、新たな分野にも進出しています。
基板上にレジストを塗布したり、露光後に現像する装置です。
基板上に形成されたパターンに従って、膜を削り取る装置です。