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FPD製造装置

東京エレクトロンでは、半導体製造装置メーカーとしての豊かなノウハウを応用したFPD製造装置など、新たな分野にも進出しています。

FPDコータ/デベロッパ

基板上にレジストを塗布したり、露光後に現像する装置です。

FPDプラズマエッチング/アッシング装置

基板上に形成されたパターンに従って、膜を削り取る装置です。

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