プロセスチャンバーを最大3室設けることが可能なMEシリーズは、東京エレクトロンが独自に開発した真空メインアームに加え、ユニークな搬送システムを採用することで、ハイスループットを実現します。MEシリーズは国内外でのa-si TFTおよびLTPS TFTパネルメーカーに採用され、好評を頂いています。

＜アプリケーション＞

• シリコン膜
• 絶縁膜
• メタル膜
• アッシング

＜製品の特徴＞

• 対応基板サイズ：ME-710S
  ＜標準＞600mm x 720mm
• マルチチャンバーシステムを採用
  最大3基搭載可能
• 装置制御コントローラーを刷新（GUIコントローラー化）
• プロセスチャンバーモードはPE、RIE、ECCP、ICPを自由に組み合わせ可能