Impressioは2m超の第7世代〜第10世代LCD製造ラインに対応するマルチチャンバーシステムのプラズマエッチング・アッシング装置です。Impressioはプロセスチャンバ内のプラズマ密度の均一化、エッチングの高効率化が可能なように設計、開発されました。
2m超の大型基板エッチングにおいても、第6世代同等のエッチングレート、均一性を実現する事が可能です。

＜アプリケーション＞

• シリコン膜
• 絶縁膜
• メタル膜
• アッシング

＜製品の特徴＞

• 対応基板サイズ：Impressio
  ＜標準＞1950mm x 2250mm
  ＜標準＞2160mm x 2460mm
  ＜標準＞2850mm x 3050mm
• マルチチャンバーシステムを採用
  最大3基搭載可能
• プロセスチャンバモード ECCPモード標準装備
• P/C開閉機構：スライド&回転方式（当社オリジナル）

• ※Impressioは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。