UNITY Meは、200mmウェ-ハ量産ラインにて高いコストパフォーマンスを実現するエッチング装置で、優れた生産性と高い信頼性を達成しています。UNITY Meは各種チャンバーアプリケーションを搭載することで、コンタクト、デュアルダマシン、Low-k絶縁膜、Polyゲート等幅広いプロセス領域に対応し、業界トップレベルの高生産性を実現しています。

特　長

• DRM、SCCMチャンバーの搭載可能
• 最大4チャンバー対応可能
• 高スループット、コンパクトデザイン、低CoOの達成
• 良メンテナンス性
• Flow Control Systemの搭載

• ※UNITYは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。
• ※SCCMは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。