Teliusは､大口径化（300mm）の要求に対し､高いコストパフォーマンスを実現したエッチング装置です｡さらなる生産性向上を追求したSPバージョンでは､Teliusのプラットフォームコンセプトを踏襲し､スループットの向上､フットプリント低減、省エネルギー化を実現しました。また、幅広いプロセス領域に対応する各種チャンバーアプリケーションの搭載が可能です。SCCMチャンバーにレトロフィット可能なCIPでは、今後の微細化のニーズに対応した加工性能や、パーティクルの飛躍的な低減を実現しています。

特　長

• DRM、SCCMチャンバーの搭載可能
• 最大4チャンバー対応可能（写真は2チャンバー）
• 200mm装置と同一クリーンルーム占有面積の達成
• 高スループット、コンパクトデザイン、低CoOの達成
• 良メンテナンス性

• ※Teliusは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。
• ※SCCMは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。