Tactrasは、300mmウェーハの真空連続搬送を可能にした最新型エッチング装置です。スライダ機構付き振子型アームにより、プロセスチャンバーを最大6チャンバーまで搭載でき、ドライエッチングの後処理に必要なチャンバなども拡張できます。Teliusと同様に省フットプリント、省エネルギー、スループットの向上を達成しています。また操作性と生産性の向上を目的とした、「装置オペレーションサポート機能」「機能停止時のウェーハ救済機能」を搭載しています。

特　長

• SCCM Polyチャンバー、Vigusチャンバー、後処理チャンバー搭載可能
• 最大6チャンバー対応可能
• 自由度の高いシステム拡張性
• 高スループット、コンパクトデザイン、低CoOの達成
• 良メンテナンス性

• ※Teliusは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。
• ※Tactrasは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。
• ※SCCMは、東京エレクトロン株式会社の登録商標です。
• ※Vigusは、東京エレクトロン株式会社の商標です。