MEMSとはMicro Electro-Mechanical Systemsの略称で、主に半導体で培われた微細加工技術を応用し、Siウェーハに数ミクロン〜数百ミクロンの機械構造物を形成することで各種センサーやアクチュエータに用いられ、さらにはCoC（Chip on Chip）などの高密度実装にも技術適用されています。東京エレクトロンのMEMS事業開発部は、これまで半導体製造プロセス技術および装置開発で培った技術と経験を生かし、MEMS製造に必要な製造装置や検査装置をご提案する一方、MEMSデバイス自身の開発や加工を受託サービスとしてご提供しています。