東京エレクトロンは、付加価値の高い新製品をタイムリーに市場に投入することがさらなる成長を実現する上で最も重要であると考えています。そのために研究・開発の強化をしております。

国内工場の技術開発部門はもとより、山梨県にある先端プロセス開発センター、兵庫県にある関西テクノロジーセンター、宮城県の東京エレクトロン技術研究所、ニューヨーク州にあるTEL Technology center, America, LLCを、研究開発の中核地点と位置づけています。さらにベルギーのIMECなどの研究機関との連携を強めながら、半導体製造装置、FPD製造装置、MEMSの各分野において、次世代の新技術や新事業の開発を行っております。

また、国際競争力の強化のために、「品質の向上」「リードタイムの短縮」「コストダウン」といった生産技術の向上に努めています。

東京エレクトロンでは、中期的な成長戦略の一つとして「新規ビジネスの創造と育成」を掲げており、社内開発はもとより、社外の有望技術の発掘・活用に取り組んでいます。2006年7月には、世界規模での有望技術の発掘・評価・活用を幅広く行うことを目的として、TEL Venture Capital, Inc.を設立いたしました。米国カリフォルニア州を活動拠点として多くのベンチャー企業・ベンチャーキャピタルが集まりコミュニティを形成しているシリコンバレーの情報をいち早くキャッチアップし、機動的な活動を展開しております。

※IMECは、ナノエレクトロニクスおよびナノテクノロジーに関する研究機関であり、次世代半導体/製造装置、ならびに要素技術を中心とした研究に取り組んでいます。