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（2008年7月1日現在）
| 1963/ |
11 |
（株）東京放送の出資により、港区赤坂に資本金500万円で(株)東京エレクトロン研究所を設立 |
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| 1968/ |
2 |
米国サームコ社との合弁会社 テル・サームコ（株）（現・東京エレクトロン東北（株））を設立 |
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| 1970/ |
6 |
横浜にテル・サームコビルを新設し、完全国産・完全自社生産体制を確立 |
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| 1975/ |
10 |
（株）テル・エンジニアリングと（株）メックエンジニアリングが合併し、（株）テルメック（現・東京エレクトロンAT（株）藤井事業所）となる。 |
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| 1977/ |
11 |
パネトロンを吸収合併 |
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| 1978/ |
10 |
東京エレクトロン（株）に社名変更 |
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| 1980/ |
6 |
東京証券取引所市場第2部に上場 |
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| 1983/ |
7 |
米国ラム・リサーチ社との合弁会社テル・ラム（株）を設立 |
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| 1984/ |
2 |
（株）テル・メックを吸収合併 |
| 3 |
東京証券取引所市場第1部に昇格 |
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| 1986/ |
12 |
テル・ラム（株）のラム・リサーチ社出資分を買い取り、100％子会社とする |
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| 1988/ |
1 |
テル・サームコ（株）の米国サームコ社の出資分を全額買い取り、100％子会社とする |
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| 1990/ |
8 |
LCD装置に本格（MEA-450） |
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| 1994/ |
8 |
本社を赤坂TBS放送センターに移転 |
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| 1997/ |
12 |
東京エレクトロン東北（株）相模事業所（現・東京エレクトロンFE（株）相模事業所）がTELグループ内で最初のISO14001を認証取得 |
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| 1998/ |
2 |
縦型拡散炉5000台出荷達成 |
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| 1999/ |
1 |
東京証券取引所より「第4回ディスクロージャー表彰」を受賞 |
| 10 |
東京証券取引所第1部における業種変更「商業」から「電気機器」へ |
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| 2000/ |
2 |
1単位の株式数を1,000株から100株に変更 |
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| 2001/ |
4 |
東京エレクトロン山梨（株）と東京エレクトロン宮城（株）が合併し、東京エレクトロンAT（株）となる |
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| 2002/ |
10 |
東京エレクトロン（株）アドバンスト・ソフトウェア開発部と東京エレクトロン札幌（株）が合併し、東京エレクトロン ソフトウェア・テクノロジーズとなる |
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| 2004/ |
4 |
東京エレクトロンAT（株）と東京エレクトロン東北（株）が合併し、東京エレクトロンAT（株）となる |
| 7 |
東京エレクトロンFE（株）と東京エレクトロンEE（株）が合併し、東京エレクトロンFE（株）となる |
| 7 |
米国持株会社Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.を設立 |
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| 2005/ |
1 |
東京証券取引所より｢第10回ディスクロージャー表彰｣を受賞 |
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| 2006/ |
2 |
Tokyo Electron Korea Solution Ltd. を設立 |
| 4 |
東京エレクトロンAT（株）を、東京エレクトロンAT（株）、東京エレクトロン東北（株）、東京エレクトロンTS（株）の3社に分割 |
| 6 |
TEL Venture Capital, Inc.を設立 |
| 12 |
米国Epion社を買収し、TEL Epion Inc. を設立 |
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| 2007/ |
2 |
東京エレクトロンPS（株）を設立 |
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6 |
東京エレクトロン技術研究所（株）を設立 |
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| 2008/ |
2 |
東京エレクトロンPV（株）を設立 |
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6 |
Tokyo Electron India Private Ltd. を設立 |
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