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グループ会社

日本 

東京エレクトロンAT株式会社

プラズマエッチング装置、枚葉CVD装置、プラズマ処理装置、
FPDエッチング/アッシング装置の開発・製造


東京エレクトロン東北株式会社

熱処理成膜装置の開発・製造


東京エレクトロンTS株式会社

ウェーハプローバの開発・製造


東京エレクトロン九州株式会社

コータ/デベロッパ、サーフェス プレパレーション装置、FPDコータ/デベロッパの開発・製造


東京エレクトロン技術研究所株式会社

RLSA事業における半導体製造装置の開発・製造


東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ株式会社

半導体製造装置、FPD製造装置、コンピュータシステム関連機器のソフトウェア・制御システムの開発


東京エレクトロンFE株式会社

半導体製造装置、FPD製造装置の調整および修理、部品の販売


東京エレクトロンPS株式会社

ポストセールス事業(販売した装置の改造・移設、中古機取り扱い)


東京エレクトロンBP株式会社

物流サービス、施設管理、機器・車両のリース、業務支援(経理、給与)、事務サービス



東京エレクトロンPV株式会社

薄膜シリコン太陽電池用プラズマCVD装置の開発


東京エレクトロンデバイス株式会社

半導体製品、ボード製品、一般電子部品及びソフトウェアの購入、販売およびネットワーク、ストレージ、ミドルウェアの各ソリューションの販売・サポート

米国 


Tokyo Electron America, Inc.

半導体製造装置のサービスおよびセールスサポート


Tokyo Electron Massachusetts, LLC

エッチング装置の開発・製造とウェーハプローバのエンジニアリング、プラズマおよび真空技術の研究・開発


Timbre Technologies, Inc.

計測技術ソフトウェアの研究・開発・製造


TEL Venture Capital, Inc.

有望技術を持つベンチャー企業への投資


TEL Technology Center, America, LLC

半導体製造装置の研究・開発


TEL Epion, Inc.

ガスクラスターイオンビーム(GCIB)技術を用いた半導体製造装置、及び産業用製造装置の提供

ヨーロッパ 

Tokyo Electron Europe Limited

全ヨーロッパの統括拠点、半導体製造装置のサービスおよびセールスサポート


Tokyo Electron Israel Limited

イスラエル内サービスおよびセールスサポート拠点

アジア 

Tokyo Electron Korea Limited

半導体製造装置、FPD製造装置のサービスおよびセールスサポート


Tokyo Electron Korea Solution Limited

ポストセールス事業(販売した装置の改造・移設、中古機取り扱い)


Tokyo Electron Taiwan Limited

半導体製造装置、FPD製造装置のサービスおよびセールスサポート


Tokyo Electron (Shanghai) Limited

半導体製造装置、FPD製造装置のサービスおよびセールスサポート


Tokyo Electron (Shanghai) Logistic Center Limited

半導体製造装置、FPD製造装置関連部品の調達と供給


Tokyo Electron India Private Limited

半導体製造装置、FPD製造装置のサポートおよびセールスサポート

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